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真空泵真空系統真空技術服務
無油干式旋片真空泵

概述:

應用范圍:

泵從大氣壓力下開始抽氣,將被抽氣體直接排到大氣中,泵腔內無油和其他工作介質,泵的極限壓力與油封式真空泵接近

低壓化學氣相沉積中多晶硅制備工藝,半導體刻蝕工藝,化學工業、醫藥工業、食品工業的蒸餾、干燥、脫泡、包裝,防止有機溶劑造成污染


性能特點:

·對物品及環境沒有污染,使用真空、排氣場合不含油分

·維護方便,使用特殊自潤滑碳素滑片

·耐磨性強、無油泵、噪音低、壽命長

·調節方便、有真空壓力表及調節閥

·吸排氣穩定,多枚滑片高速回轉

·振動小、空氣波動小、吸排氣穩定

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